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隨著工業高速發展，工業排放的廢氣所造成的大氣污染越來越嚴重。工業廢氣主要有二氧化碳、二硫化碳、硫化氫、氟化物、氮氧化物、氯、氯化氫、一氧化碳、硫酸（霧）、煙氣、粉塵、丙酮、丁酮、苯、甲苯、二甲苯等苯系物有機廢氣。工業廢氣作為大氣污染的重要來源，工業廢氣治理尤為重要，由于工廠生產的工藝不同，工業廢氣產生的廢氣污染物種類也不同，針對不同類型廢氣污染物應采用不同的廢氣處理工藝。
工業廢氣處理類型大致可分為可燃氣體的處理、助燃氣體的處理、毒性氣體的處理、惰性氣體的處理。可燃氣體的處理；可燃氣體的排放，如果排放量較大，應盡可能選擇人少的地方，注意周圍禁止火，并備有相應的滅火器、砂子和水。排放鋼瓶中的可燃氣體，工作人員應站在出氣口的側面進行操作，以防氣體噴出傷人。采用燃燒法處理時，應安裝減壓閥，控制可燃氣的速度，盡量使氣體慢慢放出，使之在燃燒裝置內充分燃燒掉。助燃氣體的處理；將黏著在容器閥門上或使用器具上的粉末、石油類、油脂類及可燃性物質，底清除干凈后，方可進行助燃氣的處理。嚴禁助燃氣體和可燃氣體在同一地方其附近進行處理，以防爆炸事故的發生。在處理助燃氣體的周圍，應無火源、無燃燒物和易爆物品。
毒性氣體的處理；處理毒性氣體時，工作人員必須戴防毒面具、手套等勞保護具與處理工作無關的人員，禁止進入毒氣處理區。向大氣中直接排放少量毒性氣體，必須經有關部門同意后選擇盡量偏僻的地方進行，控制排出口的濃度應稀釋到允許排放濃度以下。毒性氣體處理中采用的吸收劑和吸附劑，應確保其有效性方可使用。惰性氣體的處理；惰性氣體雖然沒有危險性，但大量惰性氣體集聚，會使周圍氧含量減少，從而使人窒息。在室外適當的地方排放。若鋼瓶或儀器在室內，可接上排氣導管，使其引到室外緩慢排放。
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